載物台位置精度量測

以非接觸形式量測載物台的停止位置精度。CL 系列採用小型感測頭，即使安裝多台也不占空間。此外，透過彩色共焦方式可對大範圍進行高精度量測。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列

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