量測薄膜的段差

檢查薄膜端面發生的凹陷等情形。LJ-X 系列可以透過 1 台控制器，同時使用 2 台感測頭進行檢查。此外，該系列產品陣容也包含最快能以 64 kHz 速度取樣的感測頭，可支援高速生產線。

超高精細線上輪廓感測器

LJ-X8000 系列