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以非接觸的方式監視形成皺摺及加工不良主要原因的膜片搬運中蛇行。LS-9000系列可進行16000次/秒的超高速量測,因此也能夠支援產線的高速化,以提升生產效率。
超高速、高精度測微計
LS-9000 系列
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