量測薄膜的晃動

製程中的薄膜晃動將導致產品變形，進而產生產品不良。只要使用 CL 系列，即可以非接觸形式即時監視晃動量。此外，由於它採用小型感測頭，因此也能安裝於設備內狹小的空間中。

彩色共焦雷射位移計

CL-3000 系列