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          7. 全角度觀察系統 (XYZ電動)

          數位顯微鏡VHX-7000 系列

          全角度觀察系統 (XYZ電動)

          VHX-S650E

          產品規格

          選取語言

          型號

          VHX-S650E

          XYθ 平台

          XY 平台電動/ 手動

          電動

          XY 平台移動量

          ±20 mm

          θ 旋轉角

          ±90 度

          XYθ 平台尺寸

          上面171×168 mm(中央圓板ø100)

          透射照明觀察支援倍率

          20 倍以上

          Z 平台

          Z 平台電動/ 手動

          電動

          Z 自動平台馬達

          5 相步進馬達

          Z 自動平台移動速度

          17 mm/sec(最大)

          Z 平台移動量

          49 mm

          載重量

          5 kg

          XYθ 平台

          XY 自動平台馬達

          2 相步進馬達

          XY 自動平台解析度

          1 µm(typ.)

          XY 自動平台移動速度

          10 mm/sec(最大)

          Z 平台

          Z 自動平台解析度

          0.1µm(typ.)

          電源

          電源電壓

          100 至 240 VAC 50/60 Hz

          功率消耗

          60 VA

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