3D自動量測模組（S30載物台）

型號

VHX-S15F

馬達

5 相步進馬達

定位精度

6 µm^*1

重覆精度

±0.5 µm^*1

平臺行程間距

15 mm

解析度

0.05 µm/脈衝

積載荷重

5 kg

額定

電源電壓

100 至 240 VAC、50/60 Hz

耗電量

70 VA

環境抗耐性

環境溫度

+5 至 +40 °C

相對濕度

35 至 80 % RH (無凝結)

重量

3.2 kg