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數位顯微鏡VHX-2000 系列
VHX-S15F
型號
馬達
5 相步進馬達
定位精度
6 µm*1
重覆精度
±0.5 µm*1
平臺行程間距
15 mm
解析度
0.05 µm/脈衝
積載荷重
5 kg
額定
電源電壓
100 至 240 VAC、50/60 Hz
耗電量
70 VA
環境抗耐性
環境溫度
+5 至 +40 °C
相對濕度
35 至 80 % RH (無凝結)
重量
3.2 kg
*1 機動化觀察台的定位精度和再現性規格
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