產品規格
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型號 | VHX-S15F | |||
馬達 | 5 相步進馬達 | |||
定位精度 | 6 µm*1 | |||
重覆精度 | ±0.5 µm*1 | |||
平臺行程間距 | 15 mm | |||
解析度 | 0.05 µm/脈衝 | |||
積載荷重 | 5 kg | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
耗電量 | 70 VA | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +5 至 +40 °C | ||
相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | |||
重量 | 3.2 kg | |||
*1 機動化觀察台的定位精度和再現性規格 | ||||
- 下載:
型號 | VHX-S15F | |||
馬達 | 5 相步進馬達 | |||
定位精度 | 6 µm*1 | |||
重覆精度 | ±0.5 µm*1 | |||
平臺行程間距 | 15 mm | |||
解析度 | 0.05 µm/脈衝 | |||
積載荷重 | 5 kg | |||
額定 | 電源電壓 | 100 至 240 VAC、50/60 Hz | ||
耗電量 | 70 VA | |||
環境抗耐性 | 環境溫度 | +5 至 +40 °C | ||
相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | |||
重量 | 3.2 kg | |||
*1 機動化觀察台的定位精度和再現性規格 | ||||
