彩色共焦雷射位移計
CL-3000 系列
光學模組 (真空、耐熱50 mm 型) CL-V050N
產品規格
型號 | CL-V050N | |||
類型 | 光學模組 | |||
感測頭 | CL-V050 *1 | |||
參考距離 | 50 mm | |||
標準量測範圍 | 量測範圍 | ±4 mm | ||
線性度 | ±1.4 μm *2 | |||
高精度量測範圍 | 量測範圍 | ±1.6 mm | ||
線性度 | ±1.3 μm *2 | |||
解析度 | 0.25 μm *3 | |||
光點直徑 | ø40 μm | |||
雷射分類 | 光學模組 | Class I | ||
取樣周期 | 100/200/500/1000 μs(4 段階可變) | |||
環境抗耐性 | 外殼防護等級 | 感測頭 | IP40 真空用除氣結構 *4 | |
環境光照 | 物體面照度 30000 lux(白熾燈) | |||
工作環境溫度 | 感測頭 | -20 至+200°C | ||
光學模組 | 0 至+50°C | |||
相對濕度 | 85%RH 以下(無凝結) | |||
耐振動性 | 感測頭 | 10 至57 Hz 雙倍振幅1.5 mm X、Y、Z 方向各2 個小時 | ||
光學模組 | 10 至57 Hz 雙倍振幅0.3 mm X、Y、Z 方向各2 個小時 | |||
耐衝擊性 | 15 G 6 ms | |||
真空 | 支援超高真空 *5 | |||
溫度特性 | 感測頭 | 0.015% of F.S. /°C *6 | ||
光學模組 | 0.015% of F.S. /°C | |||
材質 | 感測頭 | SUS304 | ||
光學模組 | 聚碳酸酯 | |||
重量 | 感測頭 | 約100 g | ||
光學模組 | 約1600 g | |||
*1 感測頭與光學模組會搭配調整。無相容性。 |