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高精度 影像尺寸測量儀LM 系列

控制器

LM-1000

產品規格

選取語言

型號

LM-1000

類型

控制器

拍攝元件

1 吋 2000 萬畫素 黑白 CMOS

顯示器

10.4 吋 LCD 顯示器 (XGA:1024 × 768)

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

影像量測

視野

大視野量測模式

225 mm × 125 mm

高精度量測模式

206 mm × 106 mm

最小顯示單位

0.1 µm

重複精度

視野內 (2σ)

大視野量測模式

±0.5 µm

高精度量測模式

±0.1 µm

移動載物台

X、Y 軸

±0.9 µm

XY 平面

量測精度

視野內 (2σ)

大視野量測模式

±2 µm*1

高精度量測模式

±0.7 µm*2

移動載物台

X、Y 軸 (EUX,MPE , EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L)µm*3

XY 平面( EUXY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L)µm*3

高度量測

重複精度

±2 µm

量測精度

±(4.8 + 0.04 L)µm*4

外部遙控輸入

無電壓輸入 ( 有接點/ 無接點)

外部輸出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 輸出
額定負載 24 VDC、0.5 A
ON 電阻 50 mΩ 以下

介面

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB 3.1

2 個連接埠 ( 背面 2)

USB 2.0 Series A

4 個連接埠 ( 前 2、背面 2)

顯示器輸出

DVI-D

儲存

硬碟

500 GB

照明系統

背光

遠心背光照明

上方

4 分割多角度照明 ( 電動)
細型環 ( 指向性) 側射照明 ( 電動)
遠心直線同軸照明

外部照明控制

控制光量

PWM 控制 100 kHz

輸出電壓

12 VDC

輸出電流

1.6 A ( 最大)

XY 載物台

移動範圍

200 mm × 100 mm ( 電動)

耐受重量

7 kg

Z 載物台

移動範圍

75 mm ( 電動)

電源

電源電壓

AC100 至 240 V±10% (50/60 Hz)

功率消耗

430 VA 以下

環境抗耐性

工作環境溫度

+ 10 至 35℃*5

工作環境濕度

20 至 80% RH ( 無凝結)

過電壓種類

污染等級

2

重量

約 8 kg

*1 20 mm × 20 mm 的範圍,聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1℃ 時
*2 5 mm × 5 mm 的範圍,聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1℃ 時
*3 參考 ISO10360-7,聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1℃,載物台乘載重量 2 kg 以下時,L 為 XY 載物台移動量 (mm)
*4 參考 ISO10360-7,工作環境溫度為 +23±1℃,量測最大高度設定在 50 mm 以下時,L 為 Z 載物台移動量 (mm)
*5 XY 載物台移動速度 80 mm/s 時為+ 15 至 35℃

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尺寸測量 / 表面測量儀