高倍率 LM 量測頭 LM-XC100TL

LM-XC100TL - 高倍率 LM 量測頭

*為協助用戶了解產品用途及安裝方式，產品圖片中可能包含加購配件。

產品規格

型號				LM-XC100TL
類型				量測頭
影像量測	視野	廣視野模式［mm］		25 × 25
		高精度模式［mm］		6 × 6
	最小顯示單位			0.1 µm
	重複精度	視野內 (2σ)	廣視野模式	0.5 µm
			高精度模式	0.1 µm
	量測精度		廣視野模式	1.8 µm^*1
			高精度模式	0.7 µm^*2
雷射高度	工作距離			70mm
	重複精度			σ ≦ 0.6 µm
	光點直徑			ø50 µm
	直線性			±2µm^*3
	雷射分類			Class 1
接觸式探測器	重複精度			±1 µm
	應力			0.015 N^*4
AF 高度	重複精度			±2 µm
照明系統	穿透			綠色 LED、遠心背光照明
	上方			彩色 LED、白色 LED 4 分割多角度照明（電動）
				綠色 LED、隙縫環（指向性）側射照明（電動）
				白色 LED、遠心直線同軸照明
環境抗耐性	環境溫度			+10 ～ 35° C^*5
重量				11 kg
^1 於 20 × 20 mm 的範圍內、聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1° C 時 ^2 於 5 × 5 mm 的範圍內、聚焦點位置之工作環境溫度為 +23±1° C 時 ^3 使用 KEYENCE 標準件測量所得數值，雷射單體獨立性能。 ^4 代表值 ^*5 XY 平台移動速度為 120 mm/s 時，則為＋ 15 ～ 35° C