中型平台模組 IM-X1330

IM-X1330 - 中型平台模組

*為協助用戶了解產品用途及安裝方式，產品圖片中可能包含加購配件。

產品規格

型號			IM-X1330
類型			平台模組
使用量測頭			IM 量測頭、LM 量測頭
量測範圍（X × Y）	影像量測	廣視野模式［mm］	IM 量測頭: 300 × 300、LM 量測頭: 225 × 225
		高精度模式［mm］	IM 量測頭: 225 × 225、LM 量測頭: 206 × 206
	AF 高度［mm］		IM 量測頭: ー、LM 量測頭: 200 × 200
	雷射高度［mm］		IM 量測頭: 168 × 168、LM 量測頭: 196 × 139
	接觸式探測器［mm］		IM 量測頭: 146 × 196、LM 量測頭: 150 × 196
Z 平台	移動範圍［mm］		150
量測精度	X、Y 軸（EUX, MPE EUY, MPE）		1.8＋0.02L µm ^1 ^2
	X、Y 平面（EUXY, MPE）		2.8＋0.02L µm ^1 ^2
	Z 軸（EUZ, MPE）		3.8＋0.04L µm ^3 ^4
耐受重量			15 kg ^*5
額定	電源電壓		24 VDC
	消耗電流		7.5 A
環境抗耐性	環境溫度		+10 ～ 35°C^*6
重量			32 kg
^1 參考 ISO10360-7，工作環境溫度為 +23±1° C，平台乘載重量為 2 kg 以下時，L 為 XY 平台移動量（mm） ^2 接觸式探測器量測時參考 ISO10360-2，X、Y 軸為 2.8 ＋ 0.02L µm，XY 平面為 3.8 ＋ 0.02L µm ^3 參考 ISO10360-7，接觸式探測器量測時參考 ISO10360-2，工作環境溫度為＋ 23±1° C，使用本公司基準標準件，量測目標物最大高度設定在 62 mm 以下時，L 為 Z 平台移動量（mm） ^4 量測的目標物最大高度超過 62 mm 時，則為 3.8 ＋ 0.08L µm ^5 XY 平台移動速度為 120 mm/s 時，則為 5 kg ^6 XY 平台移動速度為 120 mm/s 時，則為＋ 15 ～ 35° C