控制器 IM-7500

型號

IM-7500

類型

控制器

攝像裝置

1 吋　660 萬畫素　黑白 CMOS

顯示器

10.4 吋 LCD 顯示器 (XGA：1024 × 768)

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

影像量測

視野

大視野量測模式

IM-7010: 200 × 200 mm (4 角R 50)
IM-7020: 200 × 200 mm (4 角R 50)
IM-7030: 300 × 200 mm (4 角R 50)

高精度量測模式

IM-7010: 125 × 125 mm
IM-7020: 125 × 125 mm
IM-7030: 225 × 125 mm

最小顯示單元

0.1 µm

重複精度

大視野量測模式

不移動載物台

±1 µm

移動載物台

±2 µm

高精度量測模式

不移動載物台

±0.5 µm

移動載物台

±1.5 µm

量測精度 ±2 σ

大視野量測模式

不連結

±5 µm^*1

連結

IM-7010/IM-7020: ±(7 + 0.02 L)µm^*2
IM-7030: ±(7 +0.02 L)µm^*3

高精度量測模式

不連結

±2 µm^*4

連結

IM-7010/IM-7020: ±(4 + 0.02 L)µm^*5
IM-7030: ±(4 + 0.02 L)µm^*6

光探測器量測

可量測範圍 (XY)

IM-7010: -
IM-7020: 90 × 90 mm
IM-7030: 190 × 90 mm

最大量測深度

IM-7010: -
IM-7020: 30 mm
IM-7030: 30 mm

光探測器直徑

IM-7010: -
IM-7020: ø3 mm
IM-7030: ø3 mm

應力

IM-7010: -
IM-7020: 0.015 N
IM-7030: 0.015 N

重複精度

IM-7010: -
IM-7020: ±2 µm^*7
IM-7030: ±2 µm^*7

量測精度

IM-7010: -
IM-7020: ±(8 + 0.02 L)µm^*8
IM-7030: ±(8 + 0.02 L)µm^*9

外部遙控輸入

無電壓輸入 (有接點/無接點)

外部輸出

OK/NG/FAIL

PhotoMos 輸出
額定負載 24 VDC 0.5 A
ON 電阻 50 mΩ 以下

介面

LAN

RJ-45 (10BASE-T/100BASE-TX/1000BASE-T)

USB3.1

4 個連接埠 (後面：4個)

USB2.0 系列A

2 個連接埠 (前面：2個)

儲存

硬碟

500 GB

照明系統

透過式

遠心背光照明

落射

IM-7010: 4 分割落射照明
IM-7020: 4 分割多角度照明 (電動)、隙縫環 (指向性) 照明 (電動)
IM-7030: 4 分割多角度照明 (電動)、隙縫環 (指向性) 照明 (電動)

XY 座標台

移動範圍

IM-7010: 100 × 100 mm (電動)
IM-7020: 100 × 100 mm (電動)
IM-7030: 200 × 100 mm (電動)

耐受重量

IM-7010: 5 kg
IM-7020: 5 kg
IM-7030: 7.5 kg

Z 座標台

移動範圍

75 mm (電動)

額定

電源電壓

100 至 240 VAC　50/60 Hz

耗電量

430 VA 以下

環境抗耐性

環境溫度

+10 至 35℃

相對濕度

20 至 80% RH (無冷凝)

重量

控制器: 約 8 kg
量測頭: 約 30 kg (IM-7010)、 約 31 kg (IM-7020)、 約 33 kg (IM-7030)