將抽樣高度檢查改為全數檢查 從基準面、生產週期、門檻值進行設計

離線抽樣檢查無法阻止的3件事

問題不在於量測儀器的性能，而是量測次數與記錄保存的方式。

抽樣檢查會漏掉突發的高度異常

因工具磨損或材料批次切換而引起的高度偏差，只會在短區間內突發性產生。每數十分鐘進行一次的抽樣檢查，會漏掉該區間並流入後續製程。即使發現異常，也必須做出判斷：是追溯到上一次量測並對全數進行重新檢查，還是整批報廢。如果進行全數檢查，則只需排出不合格的個體，將重工的範圍控制在最小限度。

若不確定基準面，就無法比較數值

高度並非絕對值，其意義會根據以何處為基準的差值而改變。放在平台上量測的三次元量測儀，與在生產線上量測傳送中工件的情況，基準本來就不同。如果工件本身傾斜，即使量測同一個地方，數值也會改變。在線上化時，首先需要設計以什麼作為基準面，例如「從周圍的表面建立基準平面」或「以對向感測頭的相對高度來觀察」。

若沒有門檻值，即使能量測也無法判定

若未決定從多少 µm 的段差開始判定為 NG，即使得出數值也無法進行運作。門檻值應從後續製程的干涉或對功能的影響進行逆向計算，並實測良品批次的分佈以掌握現狀後再行設定。如果不遵循此步驟，要麼會因過度檢測而導致生產線停機，要麼會因漏檢而與以往毫無變化。這是與導入設備配套設計的項目。

設計線上全數檢查的4個步驟

在選擇感測器之前，先決定基準、生產週期、環境與判定。

1. 1 決定基準面 – STEP①。決定是將工件周圍的平坦表面設定為基準平面，還是以對向感測頭的相對高度來觀察。只要基準確定，就能抑制工件傾斜的影響。
2. 2 配合生產週期 – STEP②。確認是否能在不停止傳送的情況下進行量測。若採用不需要定位的方式，且能在傳送的同時獲取剖面，即可在不改變現有生產週期的情況下實現全數檢查。
3. 3 預估環境變動 – STEP③。在長時間連續運轉中，環境溫度的變化會表現為量測值的波動。若採用觀察與基準面相對值的配置，則不易受到環境變動的影響。
4. 4 決定門檻值並記錄 – STEP④。實測良品批次的分佈以設定門檻值，並設計到透過判定輸出排出 NG 品的流程。若保存量測值，即可直接用於掌握製程能力與趨勢管理。

從全數檢查的角度比較高度、段差檢查的方法

並非依據量測精度，而是依據是否能進行全數量測、基準是否穩定來進行排列。

全數檢查的關鍵在於基準面與位置補正

線上化不順利的原因，大多不在於感測器的解析度，而是在於基準的不穩定。LJ-X8000系列可利用最小平方法將工件周圍的平坦面擬合為平面，並設定為基準平面，以此基準平面的相對高度進行評估。同時，面積輪廓量測功能可自動補正工件的位置偏差與傾斜。由於可一次取得剖面，因此能同時檢視多個點，無需停止輸送即可進行全數量測。門檻值可以 µm 為單位進行設定，從判定到記錄皆可透過相同的配置進行連結。

支援高度、段差線上全數檢查的產品

這是一款可一次取得剖面形狀，並以基準面的相對高度進行判定的線上輪廓量測儀。

支援從離線抽樣檢查更換為線上全數檢查 － LJ-X8000系列

超高精細線上輪廓感測器

透過 3200 point/profile 的超高精細量測，可呈現剖面形狀的細部，並將高度、段差、寬度、角度等指標數值化。只需照射線狀雷射即可一次取得剖面，因此只需拍攝 1 次即可同時量測多個點的高度。從取得的高度資料中，可利用最小平方法將工件周圍的平坦面擬合為平面，並設定為基準平面。若以該基準平面的相對高度進行評估，即可建構不易受目標物放置方式或環境溫度變化影響的配置。

由於高度影像幾乎不受表面印字、花紋或顏色的影響，因此即使外觀有差異，也能以相同基準持續進行判定。針對光澤金屬產生的多重反射與漫反射，可發揮異常反射光抑制功能。透過面積輪廓量測功能，無需進行定位，若與自動工件偵測功能結合，即可實現線上全數量測與檢查。只需從段差、寬度、剖面積、角度等約 30 種輪廓量測工具中進行選擇，即可設定檢查，並支援透過判定輸出排除不良品，以及使用 FTP 伺服器功能儲存量測值與影像。

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