形狀量測雷射顯微鏡

形狀量測雷射顯微鏡

形狀量測雷射顯微鏡可以同時進行焦深較深的觀察和3D 量測。不受樣本大小或材質限制，可在常溫環境下觀察，操作簡單，就像在使用光學顯微鏡一樣。不須對樣本進行預處理，又可進行彩色觀察，可如實解析目標物件狀態。此外，也可觀察透明物體的膜表面、膜內面/ 背面、量測膜形狀的厚度。
相較於SEM 或AFM，雖然使用上更方便，但觀察倍率與量測解析度卻較差。而長寬比較大的底部或角度大的傾斜面，因為雷射光無法反射回來，所以無法觀察、量測。