量測表面粗糙度的機器
關於量測或解析表面粗糙度、形狀，市面上有各種原理的量測儀器。
本書以表面粗糙度量測計與原子力顯微鏡（AFM）代表接觸式量測儀器，以白光干涉儀與雷射顯微鏡代表非接
觸式量測儀器，分別介紹兩種儀器的原理與特點。
| 方式 | 接觸式 | 非接觸式 | ||
|---|---|---|---|---|
| 量測儀器 | 接觸式粗糙度量測計 | 原子力顯微鏡（AFM） | 白光干涉儀 | 雷射顯微鏡 |
| 量測解析度 | 1nm | < 0.01 nm | < 0.1 nm | 0.1nm |
| 高度量測範圍 | 到1 mm | < 10 μm | < 數mm | < 7 mm |
| 量測範圍 | 數mm | 1 到200 μm | 40 μm 到15 mm | 15 μm 到2.7 mm |
| 角度特性 | – | × | △ | ○ |
| 資料解析度 | – | 相當VGA | 相當VGA | 相當SXGA |
| 量測位置定位 | – | 選購配件 | 內建光學CCD CAMERA | 內建光學CCD CAMERA |
| 引起樣本表面刮傷 | 接觸 | 接觸 | 非接觸 | 非接觸 |
