確認其他對策案例
確實對晶圓測試環境進行靜電消除。透過在工件附近安裝回饋感測器,可以隨時監控目標區域的靜電消除環境。
可以高速實施大範圍的靜電消除。因為可記錄將剝離帶電的狀況除電至目標值以下的結果,當發生萬一時可以追蹤過程。
可以在剝離晶粒時產生的靜電放電前高速進行靜電消除。可以減少以往不可或缺的維護工時。
同級最高的離子平衡±1 V,所有IC 都可安心使用。還可確認過去的靜電消除環境,萬一發生問題時可以鎖定影響時間。
以無風型和節能型,將工業空氣消耗量降至最低,同時還可實現強大的靜電消除效果。
在異物攜入風險最高的空氣浴塵室中安裝靜電消除器,提高除塵效果,避免異物帶入無塵室。
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