隨著智慧型手機等裝置的高功能化、薄型化,封裝印刷電路板、電子零件也必須小型化、高密度化。在汽車領域中,自動煞車與無人駕駛技術導致電子控制越來越多。這些變化都對封裝印刷電路板、電子零件的可靠性要求增加、對故障分析、不良分析的品質改善精度和速度也越來越高。
在此介紹利用利用最新4K數位顯微鏡的故障、不良分析應用案例。

封裝印刷電路板、電子零件之故障分析、不良分析

封裝印刷電路板、電子零件的故障分析重要性

隨著智慧型手機、平板電腦及穿戴式裝置等朝向小型化、薄型化及高功能化發展,印刷電路板及零件也逐漸小型化、高密度化及多層化等。此外在汽車產業,隨著自動煞車與無人駕駛技術的研發,重要的構成零件也朝電子控制化發展。因此封裝印刷電路板、電子零件也被要求具備高耐久性、可靠性,以便因應長期間行駛、加速、停止時等應力。
在日常生活中的各種機器、裝置,與必須具備高安全性的汽車等產品,電子控制的重要零件故障、不良可能引發嚴重問題或事故。

利用可靠性評估試驗(加速試驗)對封裝印刷電路板、電子零件耐久性、可靠性非常為重要。除了產品試驗,也需要重視上市產品的品質,用顯微鏡進行產品的故障分析、不良分析以找出原因、改善品質,精度要求也越來越高。
以下說明製造現場的封裝製程等發生的封裝不良、電子零件的故障分析、不良分析手法。

故障分析、不良分析的方法

封裝印刷電路板的故障分析、不良分析有以下手法。

找出故障部位
重現電氣故障,利用「鎖相紅外熱成像」等方法,特定電子零件、裝置等短路與漏電等伴隨的發熱查明故障部位。
確認故障部位
以穿透式X線、X線CT、電子微探儀(EPMA)等觀察細微結構,掌握其物性。
不良部分的觀察、分析(不良分析)
透過顯微鏡、掃描電子顯微鏡(SEM)、聚焦離子束系統(FIB)、電子微探儀(EPMA)等進行不良部分的「截面觀察」,仔細分析不良,釐清具體原因。

封裝印刷電路板、電子零件的觀察、分析的最新案例

前面提及的電子印刷電路板、電子零件的故障分析、不良分析中,最重要的就是「不良部位觀察與分析」的精度。若要透過市場產品與可靠性評估試驗釐清故障原因並改善,除了要求分析、評估的正確性,也要求速度。
常使用顯微鏡對不良部分的外觀檢查進行分析、評估。但以往必須併用大型機器或多台機器,作業煩雜又花時間。還有遇到如細微的零件凹凸、照明條件難以設定、輪廓不清晰等問題。

KEYENCE的高精細4K數位顯微鏡「VHX系列」採用高解析度HR鏡頭與4K CMOS等技術,用清晰的4K影像觀察、分析不良部位。還能使用高解析度的放大影像,簡單操作直接完成2D、3D量測等,高精度且高速實現分析所需的一連串作業。
在此介紹利用使用「VHX系列」的觀察、分析最新案例。

打線接合的觀察、分析

以往的顯微鏡難以對立體的打線接合處進行整體對焦,還會受到光暈的影響,極難取得清晰的影像。
4K數位顯微鏡「VHX系列」實現多角度進行傾斜觀察的「全角度觀察系統」,與均勻照明,抑制反射造成光暈的「消除光暈功能」、對目標物整體對焦的「即時景深合成」。即使是高倍率觀察立體的打線接合,也能用全對焦的清晰4K影像正確觀察、分析。

4K數位顯微鏡「VHX系列」的打線接合傾斜觀察、分析
左:HDR拍攝+景深合成 / 右:一般(50×)
左:HDR拍攝+景深合成 / 右:一般(50×)
左:景深合成 / 右:一般(200×)
左:景深合成 / 右:一般(200×)
詳細觀察 / 實際狀態觀察的畫面分割顯示(左:200×/右:20×)
詳細觀察 / 實際狀態觀察的畫面分割顯示(左:200×/右:20×)
左:景深合成 / 右:一般
左:景深合成 / 右:一般

半導體封裝截面、表面的觀察、分析

4K數位顯微鏡「VHX系列」配備暗視野、明視野、微分干涉(DIC)、偏光等多樣化照明。能夠觀察半導體封裝的黏著劑(黏合劑)及各種焊膏的特性與素材形狀。
此外樹脂鑲埋的截面樣本未充分切削或研磨時,也能用少量影像建構立體影像,在進行高倍率觀察時也可取得對整體對焦的影像。

4K數位顯微鏡「VHX系列」的BGA樹脂鑲埋截面之觀察、分析
上:暗視野照明(100×、300×)/ 下:明視野照明(100×、300×)
上:暗視野照明(100×、300×)/ 下:明視野照明(100×、300×)
上:景深合成 / 下:一般(700×)
上:景深合成 / 下:一般(700×)

「VHX系列」透過「全角度觀察系統」,可從傾斜的角度高倍率觀察封裝表面與針腳。相較以往的數位顯微鏡,實現約20倍的大景深,不需要繁瑣的焦距調整,即可用整體全幅對焦的影像快速實現高精度分析。

VHX系列
4K數位顯微鏡「VHX系列」的半導體封裝之傾斜觀察
封裝表面的傾斜觀察(120×)
封裝表面的傾斜觀察(120×)
導線的傾斜觀察(畫面分割功能)
導線的傾斜觀察(畫面分割功能)

封裝印刷電路板的觀察、量測、分析

封裝電子零件後的印刷電路板,表面混有凹凸、顏色和光澤,以往很難調整焦距或找出照明條件,費時又費力。

4K數位顯微鏡「VHX系列」配備高解析度HR鏡頭與電動旋轉器,不用更換鏡頭即可在20-6000倍之間自動變更倍率的「無縫縮放」,透過直覺式操作放大、觀察。此外「全角度觀察系統」,即使是高倍率的傾斜觀察,也能取得對整體全幅對焦的高解析度影像,可清晰的觀察、分析立體封裝零件。還能用畫面分割功能顯示不同倍率下的影像,即使目標物是高密度的封裝印刷電路板,也不錯失任何不良部位。
並且能直接使用高解析度影像的高度資訊,進行次微米級的3D形狀、輪廓量測,僅用1台即可快速完成定量分析、評估。

4K數位顯微鏡「VHX系列」的零件封裝狀態之觀察、分析、量測
傾斜觀察、3D形狀量測(畫面分割功能)
傾斜觀察、3D形狀量測(畫面分割功能)
可進行任意截面的輪廓量測
可進行任意截面的輪廓量測

IC晶片的最終外觀檢查

4K數位顯微鏡「VHX系列」支援最高6000倍的倍率,在高倍率下也能取得高解析度4K影像。對於多樣化照明及立體的目標物,也能對整體全幅對焦的景深合成、HDR功能等,清晰捕捉IC晶片電路圖形的細微損傷。
在製造現場的最終外觀檢查中也能實現正確且快速的分析、評估。

4K數位顯微鏡「VHX系列」的IC晶片外觀檢查
左:明視野照明/右:暗視野照明(400×)
左:明視野照明/右:暗視野照明(400×)
微分干涉(DIC)支援照明
微分干涉(DIC)支援照明
藍光之IC圖形的超解析度觀察
藍光之IC圖形的超解析度觀察
4K數位顯微鏡「VHX系列」的IC晶片之故障分析、不良分析
故障部位的實際狀態影像和詳細分析影像(最高1000×)
故障部位的實際狀態影像和詳細分析影像(最高1000×)
不良部分的分析(400×)
不良部分的分析(400×)

IC晶片的異物混入檢查、分析

混入電路的細微異物(微粒子),可能會造成短路引發故障、不良的問題。
4K數位顯微鏡「VHX系列」連細微的異物也能用高倍率且清晰的影像捕捉。此外可用少張影像即可建構立體影像,辨別存在電路表面的異物。
也能用「VHX系列」直接進行異物3D形狀、輪廓量測。異物大小、結構、體積的定量評估,並使用拍攝影像與量測值編製報告,僅用1台即可快速完成作業。

4K數位顯微鏡「VHX系列」的IC晶片之混入異物(微粒子)分析
IC晶片異物混入部位(200×)
IC晶片異物混入部位(200×)
IC晶片混入的異物(1000×)
IC晶片混入的異物(1000×)
異物(微粒子)的輪廓量測
異物(微粒子)的輪廓量測
異物(微粒子)的3D形狀量測
異物(微粒子)的3D形狀量測

故障分析、不良分析的精度和作業效率的提升

不只可用清晰的4K影像觀察、分析,連2D、3D量測也僅用1台即可實現的4K數位顯微鏡「VHX系列」,大幅改變立體結構的封裝印刷電路板、電子零件的故障分析、不良分析精度與作業效率。
此外簡單操作即可進行高水準的分析和定量評估,不會產生人為誤差。
「VHX系列」還配備許多功能,可支援各種目標物的故障、不良分析。

有關「VHX系列」的詳細說明,請下載型錄,或洽詢KEYENCE。