電子元件產業
使用數位顯微鏡觀察、量測功率半導體（功率元件）
半導體以CPU及記憶體為代表，功率半導體卻不是處理資料，而是控制電力，稱為功率元件。在此介紹使用數位顯微鏡觀察、量測功率半導體（功率元件）的案例。
何謂功率半導體
功率半導體的定義不明確，通常是指控制大電壓、電流，且額定電流在1 A以上的半導體。
功率半導體的作用
- 變頻器：
- 將直流轉換成交流。
- A：變頻器
- a：直流
- b：交流
- 轉換器：
- 將交流轉換成直流。
- A：轉換器
- a：交流
- b：直流
- 頻率轉換：
- 轉換交流的頻率。
- A：頻率轉換
- a：交流
- 調節器：
- 轉換直流的電壓。
- A：調節器
- a：直流
功率半導體的種類及特徵
功率二極體
作用：整流
不進行交換，只向單一方向導電。
功率晶體管
作用：交換及放大
- 閘流管
- 特徵在於最早實用化且高耐壓。
- 功率MOS FET（金屬氧化物半導體場效應晶體管）
- 特徵在於高速、高頻。在低於200 V左右的低耐壓領域通常使用功率MOS FET。筆記型電腦/IT設備為代表。
- IGBT（絕緣閘雙極晶體管）
- 特徵在於高耐壓且高速、高頻。IGBT常用於200 V以上的中、高耐壓領域。EV/混合動力車/鐵路車輛為代表。
使用數位顯微鏡觀察、量測功率半導體（功率元件）的案例
以下介紹使用KEYENCE的4K數位顯微鏡「VHX系列」觀察、量測功率半導體的最新案例。
功率半導體不良部位的觀察
使用Optical Shadow Effect Mode將凹凸可視化，可瞬間判斷不良部位是附著還是凹陷。
功率半導體晶圓原料的觀察
使用去除環狀功能，可去除表面光暈。
功率半導體的封膠樹脂內填料（填充劑）觀察
使用HDR功能，可提升對比，正確量測填料的形狀。
