光譜干涉晶圓測厚儀
SI-F80R 系列
分光模組 不可用於匯出控制 SI-F80RU3
產品規格
型號 | SI-F80RU3*1 | |||
類型 | 晶圓厚度量測型 光譜模組 | |||
量測範圍 | 10 到 310 µm (n=3.5 時)*2 | |||
可實現的檢測距離 | 80 到 81.1 mm | |||
光源 | 紅外 SLD 輸出 0.6 mW, 第1 類雷射產品(IEC60825-1,FDA(CDRH)Part 1040.10 *3) | |||
光束直徑 | ø25 µm*4 | |||
線性度 | ±0.1 µm*5 | |||
解析度 | 0.25 µm*6 | |||
取樣周期 | 200 µs | |||
LED 指示器 | 目標靠近量測中心 : 綠光。目標在量測範圍內 : 橙光。目標在量測範圍外 : 橙光閃爍。 | |||
溫度波動 | 0.01% 的 F.S./°C | |||
環境抗耐性 | 環境光照 | 白熾燈/螢光燈:最大 10,000 lux | ||
環境溫度 | 0 至 +35 °C | |||
相對濕度 | 35 至 80 % RH (無凝結) | |||
耐振動性 | 10 至 55 Hz、雙倍振幅 0.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 小時 | |||
材質 | 聚碳酸酯 | |||
重量 | 約 1.2 kg | |||
*1 感測頭和光譜模組成對校準。兩者不可互換。 |