光譜干涉式位移計

產品陣容

SI-F 系列 - 微型光譜干涉雷射位移計

微型光譜干涉雷射位移計 SI-F 系列

世界首創微型感測頭，擁有同類產品中最高的量測精度，並達到過去認為不可能實現的性能。

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SI-F80R 系列 - 光譜干涉晶圓測厚儀

光譜干涉晶圓測厚儀 SI-F80R 系列

採用近紅外 SLD，即使已貼附 BG 帶也可量測晶圓本身的厚度。即使晶圓表面存在由於圖樣而產生的顯著差異，也可實現準確的生產線上量測。

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