白光干涉位移計

白光干涉位移計（3D）是以「面」拍攝、量測工件的位移計。不受工件材質、顏色影響，也不會因狹窄位置或溝槽的邊緣等凹凸形狀遮住反射光。可利用高度資訊進行高低差、寬度、角度、體積、粗糙度、平坦度等各種量測。

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產品陣容

WI-5000 系列 - 3D 干涉式位移感測器

3D 干涉式位移感測器 WI-5000 系列

採用白光干涉原理實現高速、高精度的3D量測。從段差/體積量測等量測，到寬度/面積等各式各樣的量測均可因應。

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產品特性

非點、非線，而是以「面」量測

針對最大10 × 10 mm 的測量區域，可瞬間獲取8萬個點的高度。由於採用白光干涉原理，不受材質、顏色、死角的影響，實現了微米級的高精度測量。

於線上實現高速全數檢查

量測多點時，必須高精度且高速地掃描目標物。因此往往會將時間耗費在移動載物台上，難以執行全數檢查。然而 WI-5000 系列以面執行同時量測，所以能夠大幅縮短量測時間，實現全數檢查。