量測頭 搭載彩色雷射/ 接觸式探測器的機型 LM-X100TL

LM-X100TL - 量測頭 搭載彩色雷射/ 接觸式探測器的機型

*為協助用戶了解產品用途及安裝方式,產品圖片中可能包含加購配件。

產品規格(PDF)

手冊

  • CE Marking
  • CSA

產品規格

型號

LM-X100TL

類型

量測頭

拍攝元件

1 吋 2000 萬畫素 黑白CMOS

受光鏡頭

雙遠心鏡頭

影像量測

視野

大視野量測模式

325 mm × 175 mm

高精度量測模式

306 mm × 156 mm

最小顯示單位

0.1 μm

重複精度

視野內 (2σ)

大視野量測模式

±0.5 μm

高精度量測模式

±0.1 μm

移動載物台

X、Y 軸

±0.9 μm

XY 平面

量測精度

視野內 (2σ)

大視野量測模式

±2 μm *1

高精度量測模式

±0.7 μm *2

移動載物台

X、Y 軸 (EUX,MPE , EUY,MPE)

±(1.8 + 0.02 L) μm *3

XY 平面( EUXY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L)μm *3

AF 高度量測

重複精度

±2 μm

量測精度(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

雷射高度量測

可量測範圍(XY)

239 mm × 146 mm

最小顯示單位

0.1 μm

重複精度

±0.6 μm *5

量測精度(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

光點直徑

ø50 μm

雷射分類

Class 1

接觸式探測器量測

可量測範圍(XY)

248 mm × 141 mm

應力

0.015 N *6

最小顯示單位

0.1 μm

重複精度

X、Y 軸

±1.4 μm

XY 平面

Z 軸

量測精度

X、Y 軸(EUX,MPE EUY,MPE)

±(2.8 + 0.02 L)μm *7

XY 平面(EUXY,MPE)

±(3.8 + 0.02 L)μm *7

Z 軸(EUZ,MPE)

±(4.8 + 0.04 L)μm *4

外部遙控輸入

無電壓輸入(有接點/ 無接點)

外部輸出

OK/NG/FAIL/MEAS.

PhotoMOS 輸出
額定負載 24 VDC、0.5 A
ON 電阻 50 mΩ 以下

照明系統

背光

綠色LED 遠心背光照明

上方

彩色LED、白色LED 4 分割多角度照明(電動)
綠色LED 隙縫環(指向性) 側射照明(電動)
白色LED 遠心直線同軸照明

外部照明控制

控制光量

PWM 控制 100 kHz

輸出電壓

12 VDC

輸出電流

1.6 A(最大)

XY 載物台

移動範圍

300 mm × 150 mm
(電動)

耐受重量

7 kg

Z 載物台

移動範圍

75 mm(電動)

電源

電源電壓

100 至240 VAC ±10%(50/60 Hz)

功率消耗

150 VA 以下

環境抗耐性

環境溫度

+10 至+35° C *8

相對濕度

20 至80%RH(無冷凝)

過電壓種類

污染等級

2

重量

約35 kg

*1 於20 mm × 20 mm 的範圍內、聚焦點位置之工作環境溫度+23±1℃ 時
*2 於5 mm × 5 mm 的範圍內、聚焦點位置之工作環境溫度+23±1℃ 時
*3 參考ISO10360-7,聚焦點位置之工作環境溫度為+23±1℃,載物台乘載重量2 kg 以下時,L 為XY 載物台移動量(mm)
*4 參考ISO10360-7,面- 點高度,工作環境溫度為+23±1℃,量測目標物之最大高度設定在50 mm 以下時,L 為Z 載物台移動量(mm)
*5 工作環境溫度為+23±1℃ 時,量測KEYENCE 標準目標物
*6 代表值
*7 參考ISO10360-7,工作環境溫度為+23±1℃,載物台乘載重量2 kg 以下時,L 為XY 載物台移動量(mm)
*8 XY 載物台移動速度80 mm/s 時為+15 至35℃

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