形狀/輪廓
量測目標物形狀/輪廓。
除了有使用點雷射量測的1D雷射位移計以外,還可以提供掃描「面」捕捉形狀,之後抽取截面形狀組成3D圖形的3D雷射位移計。
量測方法會因量測條件和目標物而不同,推薦的檢查方式也隨之不同,如需進一步討論,可與您最近的KEYENCE服務處聯繫。






量測晶圓外緣的形狀。只要選擇段差、寬度、角度等量測工具,即可簡單量測。此外 3200 point/Profile 的超高精細拍攝,達到了以往相當困難的高精度形狀量測。


量測目標物形狀/輪廓。
除了有使用點雷射量測的1D雷射位移計以外,還可以提供掃描「面」捕捉形狀,之後抽取截面形狀組成3D圖形的3D雷射位移計。
量測方法會因量測條件和目標物而不同,推薦的檢查方式也隨之不同,如需進一步討論,可與您最近的KEYENCE服務處聯繫。
量測晶圓外緣的形狀。只要選擇段差、寬度、角度等量測工具,即可簡單量測。此外 3200 point/Profile 的超高精細拍攝,達到了以往相當困難的高精度形狀量測。