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線上量測儀器的選擇

形狀/輪廓

量測目標物形狀/輪廓。
除了有使用點雷射量測的1D雷射位移計以外,還可以提供掃描「面」捕捉形狀,之後抽取截面形狀組成3D圖形的3D雷射位移計。
量測方法會因量測條件和目標物而不同,推薦的檢查方式也隨之不同,如需進一步討論,可與您最近的KEYENCE服務處聯繫。

下載量測說明集

利用直徑3.5um的小光點掃描,可準確地量測目標物形狀。

使用最寬240mm的藍光雷射照射,量測胎面形狀。使用多個感測頭可對輪胎進行全面量測。

可同步量測包括鏡面體在內的量測區域,消除人為量測誤差,縮短檢查時間。

可高速並連續量測醫療用氣囊導管形狀,即時量測各部位尺寸。

檢查捲繞工序後是否存在捲繞散亂。LJ-X8000 系列的X 軸解析度最小可達2.5μm,可正確量測每一片電極的形狀。

將積層前的電極切斷位置反饋給裝置。透過正確捕捉塗佈材料端部的形狀,可高精度檢查邊緣的位置。

量測晶圓外緣的形狀。只要選擇段差、寬度、角度等量測工具,即可簡單量測。此外 3200 point/Profile 的超高精細拍攝,達到了以往相當困難的高精度形狀量測。