電子元件產業
IC晶片拾取時發生靜電破壞
以下介紹電子元件產業因靜電引發的問題,以及透過靜電消除器獲得改善的案例。
改善案例
晶片切割後,透過晶片移載機拾取IC晶片。切割膠帶與IC晶片會發生剝離帶電,且在拾取時電位大幅上升。如此一來會對周圍的夾具及其他晶片造成靜電放電,導致靜電破壞。
切割:在晶圓上切割IC晶片的製程
拾取:以吸嘴將切割好的晶片吸起的操作
過去採取的對策
老舊靜電消除器
- 對於拾取晶片時急遽產生的帶電,消除能力不足
- 經過一段時間後效果快速降低
使用靜電消除器(Ionizer)作為對策
可確實防止生產不良品,同時減少報廢成本。
改善、效果
現場的反應
減少不良品報廢的成本
靜電破壞產生的報廢成本 $1,000/月×12個月=$12,000/年
除上述以外,還能減少維護靜電消除器的工時。