表面掃描雷射共焦位移計

LT-9000 系列

產品特點

雙掃描高精密度雷射測定器。 Z 軸掃描: 的高解析度可測定所有的。 X 軸掃描: 追求功能性和穩定性。

    • 高精密度雙掃描方式
    • 0.3 µm 的高解析度可測定所的對象物
    • 追求現場操作的便利性
    • 使用途更為廣泛的多樣化測定模式
    • 高精密度的雙掃描模式,可應用在所有工件上的測量。

    • 利用共焦點和音叉的高精密度測定方式。以往的10 倍。

    • 追求功能性和穩定性的橫向掃描模式。利用搖動元件進行高精密度掃描。

    • 追求現場操作的便利性。以優異的操作性能來提供後備支援。

    • 利用同軸模式的微點雷射,測定微細點位

    • 根據共焦點原理,可以穩定地測定透明體的表面、膜厚、厚度。

    • 由雷射掃描模式的光量估算功能,實現高度的穩定性

    • 由掃描定點後所得之複數點測定值,以0.01 度為單位來測量角度。

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