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可依樣本工件的材質、形狀、量測範圍，選擇雷射共軛焦、白光干涉、Focus Variation 3種不同掃描原理，達到高精度量測。
奈米等級的微小形狀變化也可正確量測。 針對鏡面或透明體等高難度材質，也可實現高速、高精度、大範圍的量測。
最大掃描區域50 mm平方。 較大的凹凸或手掌大小的目標物皆可完整掃描。 全貌與部分形狀雙方皆可一台掌握。
高倍率/低倍率、平坦/凹凸 均可
目標物不受限的量測對應力
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