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          形狀分析雷射顯微鏡

          VK-X 系列

          可執行所有表面形狀測量

          對於拍攝到的圖像可自由量測

          “想測量高低差? 形狀實現數值化”

          [剖面·3D 量測]
          高度· 寬度· 角度截面積量測

          對使用者在螢幕上指定的任何直線或曲線截面輪廓,VK-Analyzer 可以測量其高度、寬度、截面、角度或 R 值。

          基板高度差  高度· 寬度量測(1000 倍)

          基板高度差
          高度· 寬度量測(1000 倍)

          微攝鏡頭 R 量測(1000 倍)

          微攝鏡頭
          R 量測(1000 倍)

          表面積· 體積量測

          測量在螢幕上指定的任何區域中,物體的體積、表面積以及表面積比率。

          光學薄膜 體積量測( 1000 倍)

          光學薄膜
          體積量測( 1000 倍)

          太陽能電池  表面積量測(1000 倍)

          太陽能電池
          表面積量測(1000 倍)

          想要比較"差異",實現數值化

          [直線與面粗糙]
          直線粗糙度量測

          可以一邊觀察 2D 或 3D 圖像,一邊避開頂點或異物,測量目標部位的粗糙度。

          想要比較"差異",實現數值化

          面粗糙度量測

          從視覺上來講存在差異,那麼差異究竟有多大呢? 可以量測面的粗糙度,透過數值確認平均化後的差異。

          (例)功能性薄膜的暗紋(3000 倍)

          樣品A: Ra 1.5 μm

          樣品A: Ra 1.5 μm

          樣品B: Ra 3.2 μm

          樣品B: Ra 3.2 μm

          區域薄膜厚度量測功能

          不僅實現膜厚量測,還可獲取最表面和背面的形狀。

          在觀察視野中的所有位置分析多個圖層。您可以顯示所選的單個圖層或多個圖層的3D 影像或截面輪廓,還可以量測使用者指定的位置形狀或薄膜厚度。

          區域薄膜厚度量測功能

          “想要一次性自動拍攝· 測量多個樣品”

          [自動測量具備規則圖形的物件物]
          自動寬度· 高度量測

          對於具備規則圖形的物件物的寬度·高度,按照設定條件自動測量。由於是自動量測,因此不會產生人員造成的誤差,可以在短時間內完成量測。

          光阻劑圖樣(6000 倍)

          光阻劑圖樣(6000 倍)

          光學薄膜(1000 倍)

          光學薄膜(1000 倍)

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