一鍵切換倍率從 5 倍至 6000 倍

FI Model

高CP值的立體觀察

光學觀察模組

兼具VHX的操作性
實現金相顯微鏡等級觀察

金相觀察模組

分析範圍較以往機型提升9倍

300 mm(12 吋晶圓對應)
大型載物台

一鍵操作,瞬間完成元素分析

元素分析模組