全角度觀察系統 (XYZ電動) VHX-S650E

型號

VHX-S650E

XYθ 平台

XY 平台電動/ 手動

電動

XY 平台移動量

±20 mm

θ 旋轉角

±90 度

XYθ 平台尺寸

上面171×168 mm(中央圓板ø100)

透射照明觀察支援倍率

20 倍以上

Z 平台

Z 平台電動/ 手動

電動

Z 自動平台馬達

5 相步進馬達

Z 自動平台移動速度

17 mm/sec(最大)

Z 平台移動量

49 mm

載重量

5 kg

XYθ 平台

XY 自動平台馬達

2 相步進馬達

XY 自動平台解析度

1 µm(typ.)

XY 自動平台移動速度

10 mm/sec(最大)

Z 平台

Z 自動平台解析度

0.1µm(typ.)

電源

電源電壓

100 至 240 VAC　50/60 Hz

功率消耗

60 VA