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          光譜干涉晶圓測厚儀SI-F80R 系列

          SI-F80R

          感測頭 晶圓厚度量測型

          產品規格

          選取語言

          型號

          SI-F80R*1

          類型

          晶圓厚度量測型 感測頭

          量測範圍

          10 到 310 µm (n=3.5 時)*2

          可實現的檢測距離

          80 到 81.1 mm

          光源

          紅外 SLD 輸出 0.6 mW, 第1 類雷射產品(IEC60825-1,FDA(CDRH)Part 1040.10 *3

          光束直徑

          ø25 µm*4

          線性度

          ±0.1 µm*5

          解析度

          0.25 µm*6

          取樣周期

          200 µs

          LED 指示器

          目標靠近量測中心 : 綠光。目標在量測範圍內 : 橙光。目標在量測範圍外 : 橙光閃爍。

          溫度波動

          環境抗耐性

          外殼防護等級

          IP64

          環境光照

          白熾燈/螢光燈:最大 10,000 lux

          環境溫度

          0 至 +50 °C

          相對濕度

          35 至 85 % RH (無凝結)

          耐振動性

          10 至 55 Hz、雙倍振幅 1.5 mm、X,Y,Z 方向各 2 小時

          材質

          SUS

          重量

          約 70 g(含連接線)

          *1 感測頭和光譜模組成對校準。兩者不可互換。
          *2 表示折射率為 3.5 時的厚度量測範圍。 (折射率為 1 時厚度量測範圍為 35 到 1100 µm)
          *3 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice No.50 的要求而實施的。
          *4 表示量測範圍內的最小光束直徑。
          *5 量測兩塊玻璃板間隙並將平均量測次數設為 256 (轉換為折射率就是 3.5) 時獲得的值。
          *6 在檢測距離內量測厚度為 0.3 mm 的玻璃對象並將平均量測次數設為 4096 時獲得的值。

          量測應用指南

          量測數據庫

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