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          光譜干涉晶圓測厚儀

          SI-F80R 系列

          下載產品型錄 SI-F80R 系列 光譜干涉晶圓測厚儀 產品型錄

          精確地只量測晶圓厚度

          SI-F80R 系列使用近紅外 SLD，可穿過矽、砷化鎵、碳化矽、磷化銦、非晶矽及其它半導體。 即使晶圓已貼上 BG（研磨）膠，也可精確測出晶圓厚度。

          SI-F80R

          精確地只量測晶圓厚度

          同類中最高的規格

          同類中最高的規格

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