微型光譜干涉雷射位移計

SI-F 系列

各種感測頭
光譜干擾系統的原理
智慧控制器
多樣化的介面
軟體

光譜干擾系統的原理

分光模組

[概要]

從光源(SLD)發出的寬波長光帶，經感測頭內部的參考反射面與對象物表面這兩面的反射之後，返回到光纖內部。這兩個反射光是相互干涉的。各波長的干涉光由參考反射面與對象物的距離而決定。(如果知道各波長的干涉光強度，那麼即能夠求算出對象物的距離。) 透過分光器對每個波長實施分光後，使其在CCD形成圖像，就可以得出波長的強度分佈。分析此強度分佈，就能夠算出至對象物為止的距離。

[詳細(對概要內容的細說明)]

「從光源(SLD)發出的寬波長光帶」...

光具有波的性質，通常將一個波形的長度稱之為「波長」。也就是說，光以一波而前進的距離。在SI所使用的SLD(Super Luminescent Diode)擁有810nm至830nm的波長光帶。

「兩個反射光是相互干涉的」...

干涉，是指波的干涉。複數的波相重合，就形成了新的波形。
干涉具有兩個法則: (1)只有相同的波長才會產生干涉、(2)如果為同相，則振幅會轉為極大。

(1): 例如，810nm與820nm的光不會產生干涉。只有在雙方都為810nm或雙方都為820nm的光才會產生干涉。
(2): 如下圖所示，當在相同地點，波峰與波峰、波谷與波谷相重合時(稱之為同相)，干涉波的振幅轉為極大;當波峰與波谷相重合時(稱之為逆相)，振幅轉為極小。干涉波振幅的大小由兩個波的重合時機而決定。