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          微型光譜干涉雷射位移計

          SI-F 系列

          SI-F 系列微型光譜干涉雷射位移計產品應用

          在自動化應用和傳感應用中無可挑剔的表現。

          量測晶圓厚度

          微型感測頭可用於量測矽晶圓等精密物體的厚度和翹曲度。

          量測晶圓厚度

          [優點]
          超高解析度

          0.25 μm 的解析度

          多功能控制器

          算術運算電路將量測資料即時轉換為厚度。

          不發熱

          感測頭中沒有電子部件,不會產生熱量。

          量測複印機中的滾輪的動作。

          微型感測頭可用於量測影印機等精密機械中的各個部件的動作。

          量測複印機中的滾輪的動作。

          [優點]
          ø2 mm 微型感測頭

          無需預留安裝位置。

          最高可承受 85°C

          即使緊靠發熱的機身也能進行量測。

          5-kHz 高速取樣

          即使是高速目標也可安全地量測。

          定位高精度載物台

          微型感測頭可用於檢測載物台停止的位置,因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關設備。

          定位高精度載物台

          [優點]
          10 mm 以上的設定距離

          無碰撞危險。

          最多 6 軸同時量測

          實現無時間誤差的多軸控制。

          ø8 mm 小型感測頭

          無需預留安裝位置。

          高精度量測滾輪的偏轉。

          微型感測頭可用於量測各種要求精確量測的滾輪(例如膠滾輪)的偏轉。

          高精度量測滾輪的偏轉。

          [優點]
          對工件無傷害

          非接觸量測方式避免損傷工件。

          直接表示偏轉度

          控制器即時算出並顯示偏轉度。

          5-kHz 高速取樣

          可緊跟高速旋轉的目標物。

          量測曝光光罩的間隙

          微型感測頭可用於量測曝光光罩和玻璃基板的間隙。

          量測曝光光罩的間隙

          [優點]
          80 mm 的設定距離

          即使光罩較厚亦可安裝微型感測頭。

          ø12 mm 小型感測頭

          無需預留安裝位置。

          不發熱

          感測頭中沒有電子部件,不會產生熱量。

          量測玻璃盤的厚度

          微型感測頭可用於量測玻璃盤等光學透明物體的厚度。

          量測玻璃盤的厚度

          [優點]
          超高解析度

          0.25 μm 的解析度

          5-kHz 高速取樣

          可量測高速旋轉的目標的厚度。

          最多 6 軸同時量測

          實現無時間誤差的多軸控制。

          量測應用指南

          量測數據庫

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