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微型光譜干涉雷射位移計
SI-F 系列
SI-F 系列微型光譜干涉雷射位移計產品應用
在自動化應用和傳感應用中無可挑剔的表現。
量測晶圓厚度
微型感測頭可用於量測矽晶圓等精密物體的厚度和翹曲度。
[優點]
超高解析度
0.25 μm 的解析度
多功能控制器
算術運算電路將量測資料即時轉換為厚度。
不發熱
感測頭中沒有電子部件，不會產生熱量。
量測複印機中的滾輪的動作。
微型感測頭可用於量測影印機等精密機械中的各個部件的動作。
[優點]
ø2 mm 微型感測頭
無需預留安裝位置。
最高可承受 85°C
即使緊靠發熱的機身也能進行量測。
5-kHz 高速取樣
即使是高速目標也可安全地量測。
定位高精度載物台
微型感測頭可用於檢測載物台停止的位置，因此可將實際值與參考值的差值反饋給相關設備。
[優點]
10 mm 以上的設定距離
無碰撞危險。
最多 6 軸同時量測
實現無時間誤差的多軸控制。
ø8 mm 小型感測頭
無需預留安裝位置。
高精度量測滾輪的偏轉。
微型感測頭可用於量測各種要求精確量測的滾輪（例如膠滾輪）的偏轉。
[優點]
對工件無傷害
非接觸量測方式避免損傷工件。
直接表示偏轉度
控制器即時算出並顯示偏轉度。
5-kHz 高速取樣
可緊跟高速旋轉的目標物。
量測曝光光罩的間隙
微型感測頭可用於量測曝光光罩和玻璃基板的間隙。
[優點]
80 mm 的設定距離
即使光罩較厚亦可安裝微型感測頭。
ø12 mm 小型感測頭
無需預留安裝位置。
不發熱
感測頭中沒有電子部件，不會產生熱量。
量測玻璃盤的厚度
微型感測頭可用於量測玻璃盤等光學透明物體的厚度。
[優點]
超高解析度
0.25 μm 的解析度
5-kHz 高速取樣
可量測高速旋轉的目標的厚度。
最多 6 軸同時量測
實現無時間誤差的多軸控制。
