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可在現場進行高精度量測

透過持續曝光對細微變化進行準確的量測

雷射掃描方式

多稜鏡旋轉並用雷射掃描執行量測。當目標移動時,如下圖所示總是有無法測量的區域。

全新光學系統(LS-7000 系列)

由於新的光學系統採用持續曝光而沒有旋轉反射鏡的方式測量目標,所以能夠可靠地檢測目標的任何變化。實現高速生產線縮短生產作業時間的量測需求。

使用曝光值內的平均值進行量測,因此不會漏檢短暫變化。

CAMERA 處理不會受到光軸偏離的影響

雷射掃描方式

雷射路徑會根據掃描多稜鏡每一面的表面精度而變化。

每個樣本雷射掃描路徑如下圖:

全新光學系統(LS-7000 系列)

使用雷射掃描方式後,馬達旋轉的誤差會隨著時間而變大。裝置使用的時間越長,雷射掃描路徑的誤差也就越大。因此系統需要經常校正,增加了成本和停滯時間。

由於鏡面不會移動, 系統測量每個樣本的區域都是相同的。

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