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大幅減少離線檢查工時

只須放置即可「瞬間3D」量測,還可消除人為誤差

傳統 使用工具顯微鏡執行檢查

由於工具顯微鏡的載物台XY 移動與對焦的上下滑動均以手動執行,產生檢查費時的課題。此外,人為量測誤差也是課題之一。

傳統做法

  • 以手動的方式將載物台XY 移動
  • 以目視上下滑動對焦

不只耗費工時,還會產生量測誤差

段差測量流程

檢查時間 (設置工件, 調整 焦距, 設置 零點, 滑動載物台, 調整焦距, 讀取量測值)

WI-5000 系列 專用支架

備有離線檢查時的專用感測頭固定支架。只要使用位置補正功能,就不必執行麻煩的定位,實現了只需放置的檢查。在大幅減少檢查工時的同時,還可消除人為誤差。

只要使用WI-5000 系列

  • 不需嚴密的定位

大幅減少檢查工時

無人為誤差

段差測量流程

檢查時間 (設置工件時即瞬間量測) / 檢查工時大幅縮短

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