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          形狀分析雷射顯微鏡VK-X 系列

          VK-X150K

          控制器

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          本型號已停產。

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          產品規格

          選取語言

          型號

          VK-X150K

          綜合倍率

          至19200倍*1

          視野 (最小視野範圍)

          16 µm 至 5400 µm

          掃描頻率

          雷射量測速度

          4 至120 Hz、7900 Hz*2

          量測原理

          光學系統

          針孔共焦光學系統

          受光元件

          光電倍增管、16 位元感測

          掃描方式 (一般量測時及影像連接時)

          自動上下限設定功能 高速光量最佳化功能(AAG Ⅱ) 反射光量不足插補功能(雙掃描)

          高度量測

          顯示解析度

          5 nm

          線性尺規

          動態量程 (根據工件的受光量的適應幅度)

          16 位元

          重複精度 σ

          20 倍40 nm、50 倍20 nm、100 倍20 nm*3

          Z軸量測用記憶體

          140 萬步級

          Z 載物台組成

          結構

          量測頭分離結構

          最大試料高度

          28 mm、128 mm(選購件)

          寬度量測

          顯示解析度

          10 nm

          重複精度 3σ

          20 倍100 nm、50 倍50 nm、100 倍30 nm*3

          XY 載物台構造

          手動 運轉範圍

          70 mm×70 mm

          電動 運轉範圍

          50 mm × 50 mm、100 mm × 100 mm*4

          觀察

          觀察影像

          超高精細彩色CCD 影像
          16 位元雷射彩色共焦影像
          共焦點+ ND 濾波器光學系統
          C- 雷射微分干涉影像

          最大拍攝解析度

          3072×2304

          用於量測的
          雷射光束光源

          波長

          紅色半導體雷射 658 nm

          量測用雷射光源

          最大輸出

          0.95 mW

          雷射分類

          第 2 類雷射製品(IEC60825-1)

          重量

          量測頭

          約 25 kg (分離時量測頭單體: 約 8.5 kg)

          控制器

          約 11 kg

          *1 23 吋顯示器標示。
          *2 在量測模式/ 量測品質/ 鏡頭倍率的組合下為最快的情形。線性掃描的量測間距為0.1µm 以內時。
          *3 在周圍溫度為20±2℃ 的情況下,以20 倍以上的鏡頭量測標準試料(基準尺規)時。但VK-X120/130 的100 倍鏡頭除外。
          *4 安裝電動載物台時。

          下載:

          量測系統程式庫

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