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          形狀分析雷射顯微鏡VK-X 系列

          VK-X1050

          量測頭 (紅色半導體雷射)

          產品規格

          選取語言

          型號

          VK-X1050

          類型

          量測頭

          綜合倍率

          至 28,800 倍*1

          視野(最小視野範圍)

          11 µm 至 7,398 µm

          畫格速率(雷射量測速度)

          4 至 125 Hz、7,900 Hz*2

          量測原理

          光學系統

          針孔共焦光學系統、對焦選擇

          受光元件

          16 位元感測光電倍增管、超高精細彩色CMOS

          掃描方式
          (一般量測時及圖像連結時)

          自動上下限設定功能、高速光量最佳化功能 (AAGII) 、反射光量不足插補功能 (雙掃描)

          高度量測

          顯示解析度

          5 nm

          線性尺規

          動態量程
          (根據工件的受光量的適應幅度)

          16 位元

          重複精度σ

          雷射共軛焦

          20 x : 40 nm、50 x : 20 nm

          對焦選擇

          5 x : 500 nm、10 x : 100 nm、20 x : 50 nm、50 x : 30 nm

          獲取高度資料的範圍

          70 萬步級

          準確性

          0.2 + L/100 µm 以下 (L = 量測長度 µm)*3

          寬度量測

          顯示解析度

          10 nm

          重複精度 3σ

          雷射共軛焦

          20 x : 100 nm、50 x : 50 nm

          對焦選擇

          5 x : 400 nm、10 x : 400 nm、20 x : 120 nm、50 x : 65 nm

          準確性

          量測值±2 % 以內*3

          XY 載物台構造

          手動 運轉範圍

          70 mm x 70 mm

          電動 運轉範圍

          100 mm x 100 mm

          觀察

          觀察影像

          超高精細彩色CMOS 影像、16 位元雷射彩色共焦影像、共焦點 + ND 濾波器光學系統、C - 雷射微分干涉影像

          照明

          環狀照明、同軸落射照明

          量測用雷射光源

          波長

          紅色半導體雷射 661 nm

          最大輸出

          1 mW

          分類

          第 2 類雷射製品 (IEC60825-1)

          電源

          電源電壓

          100 至 240 VAC、50/60 Hz

          消耗電流

          150 VA

          重量

          約 13.0 kg

          *1 23 吋顯示器畫面上倍率 (全螢幕顯示時)。
          *2 在量測模式/量測品質/鏡頭倍率的組合下為最快的情形。線性掃描的量測間距為 0.1 m 以內時。
          *3 以 20 倍以上的鏡頭量測標準試料 (基準刻度) 時。

          量測系統程式庫

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