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          形狀分析雷射顯微鏡VK-X 系列

          VK-X105

          形狀量測雷射顯微鏡

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          型號

          VK-X105

          類型

          顯微鏡

          物鏡的倍率

          15" 顯示器的倍率 100 倍

          5倍

          15" 顯示器的倍率 200 倍

          10倍

          15" 顯示器的倍率 400 倍

          20倍

          15" 顯示器的倍率 1000 倍

          50倍

          觀察/ 量測範圍

          水平 (H): μm

          15" 顯示器的倍率 100 倍

          2700

          15" 顯示器的倍率 200 倍

          1350

          15" 顯示器的倍率 400 倍

          675

          15" 顯示器的倍率 1000 倍

          270

          垂直 (V): μm

          15" 顯示器的倍率 100 倍

          2025

          15" 顯示器的倍率 200 倍

          1012

          15" 顯示器的倍率 400 倍

          506

          15" 顯示器的倍率 1000 倍

          202

          工作距離: mm

          15" 顯示器的倍率 100 倍

          22.5

          15" 顯示器的倍率 200 倍

          16.5

          15" 顯示器的倍率 400 倍

          3.1

          15" 顯示器的倍率 1000 倍

          0.54

          數值孔徑 (N.A)

          15" 顯示器的倍率 100 倍

          0.13

          15" 顯示器的倍率 200 倍

          0.3

          15" 顯示器的倍率 400 倍

          0.46

          15" 顯示器的倍率 1000 倍

          0.8

          光學變焦

          1 至 8 倍

          綜合倍率

          100 至 8000x

          觀察/ 量測用光學系統

          針孔共焦光學系統

          高度量測

          量測範圍

          7 mm

          顯示解析度

          0.005 µm

          重複精度 σ

          0.02 µm*1

          寬度量測

          顯示解析度

          0.01 µm

          重複精度 3σ

          0.05 µm*2

          畫面格速率

          像素計數

          2048 x 1536, 1024 x 768, 1024 x 64

          對於黑白影像

          16 位元

          對於彩色影像

          RGB 各 8 位元

          對於高度量測

          21 位元

          掃描頻率

          面掃描

          4 至 120 Hz

          線掃描

          7900 Hz

          自動功能

          AAG (自動增益)、自動對焦, 自動設定上下限, 雙掃描的光度設定

          用於量測的
          雷射光束光源

          波長

          紅色半導體雷射, 658 nm

          量測用雷射光源

          最大輸出

          0.95 mW

          雷射分類

          第 2 類雷射產品 (IEC 60825-1,FDA (CDRH) Part1040.10) *3

          受光元件

          PMT (光電倍增管)

          用於光學觀察的光源

          100 W 鹵素燈

          用於光學觀察的
          彩色 CAMERA

          攝像裝置

          1/3 英呎彩色CCD 圖像傳感器

          拍攝解析度

          超高精細 (3072 x 2304)

          自動調整

          增益、快門速度

          資料處理裝置

          由 KEYENCE 隨 VK-X 一起提供的專用 PC (OS: Windows 7 Professional Edition) *4

          軟體部

          自動對焦軟體

          觀察時自動對焦的軟體

          像素位移軟體

          在拍攝圖像之際,位移像素後進行拍攝,一次提高拍攝像素的軟體

          HDR功能軟體

          以16bit獲取資料,並對圖像的顯示實施最優化的軟體

          RPD功能軟體

          快速、正確檢測量測結果的運算法

          AAG功能軟體

          自動調整設定範圍內雷射靈敏度的軟體

          自動上下限設定軟體

          自动辨識目標物的上限與下限後,設定量測範圍的軟體

          簡單模式功能軟體

          可以流程圖表方式簡單量測的軟體

          註釋功能軟體

          在觀察螢幕上顯示註釋的軟體

          量測/刻度顯示軟體

          在尺寸量測或觀察螢幕上顯示刻度的軟體

          額定

          電源電壓

          100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

          耗電量

          最大 450 VA

          重量

          約 25 kg (分離時探頭單體:約 8.5 kg)

          *1 使用 50 倍 物鏡測量標準高度差為 2 µm 時。
          *2 使用 50 倍 物鏡 (光學 2 倍變焦) 以直線頂點模式 (影像平均:8 次) 測量 KEYENCE 參考圖 1 µm 線寬的直線時。
          *3 FDA (CDRH) 的雷射分類是基於 IEC60825-1 並根據 Laser Notice No.50 的要求而實施的。
          *4 Windows 7 是美國微軟公司的註冊商標。

          下載:

          量測系統程式庫

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