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          形狀分析雷射顯微鏡VK-X 系列

          VK-S110

          電動XY載物台

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          型號

          VK-S110

          移動方向

          X/Y軸

          衝程

          100 x 100 mm

          載物台尺寸

          140 x 140 mm

          導引方法

          交叉輪導軌

          進給方法

          精密滾珠絲杠、引線1 mm

          軸轉換慣性

          X軸 9.29×10-7kg・m2、Y軸 9.62×10-7kg・m2

          馬達

          0.35A/相、5相步進馬達5線五角接線、持有扭矩:0.017N・m、旋轉慣性:4.2g・cm2

          解析度

          1 µm

          定位精度

          10 µm

          重覆定位精度

          ±1 µm

          彈回

          1 µm

          空轉

          3 µm

          直觀性 (垂直/水平)

          15 µm

          平行性A

          X:20 µm、Y:20 µm

          XY直角度

          15 µm

          耐加重

          3 kg

          主材料/概觀

          鋁合金/黑色陽極處理

          重量

          3.7 kg

          下載:

          量測系統程式庫

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