形狀測量雷射顯微鏡VK-X 系列

VK-S110

電動XY載物台

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產品規格

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型號

VK-S110

移動方向

X/Y軸

衝程

100 x 100 mm

載物台尺寸

140 x 140 mm

導引方法

交叉輪導軌

進給方法

精密滾珠絲杠、引線1 mm

軸轉換慣性

X軸 9.29×10-7kg・m2、Y軸 9.62×10-7kg・m2

馬達

0.35A/相、5相步進馬達5線五角接線、持有扭矩:0.017N・m、旋轉慣性:4.2g・cm2

解析度

1 µm

定位精度

10 µm

重覆定位精度

±1 µm

彈回

1 µm

空轉

3 µm

直觀性 (垂直/水平)

15 µm

平行性A

X:20 µm、Y:20 µm

XY直角度

15 µm

耐加重

3 kg

主材料/概觀

鋁合金/黑色陽極處理

重量

3.7 kg

下載:

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