• 晶圓上的細微圖案(2500x),透明高低段差也能以奈米等級量測

  • 表面形狀/微結構 分析與量測必備
    VK系列-雷射兼白光干涉顯微鏡

    • 三重掃描技術,奈米~毫米精準量測
      雷射共軛焦+白光干涉+Focus Variation三技術合一,低倍率也能細緻呈現表面形狀/結構

    • 最高解析度0.01nm,倍率28800倍

    • 透明/鏡面體也可正確測量
      全自動量測AI-Scan系統與演算法可自動調整受光量,因應難以檢測的表面狀態,樣品任意擺放,一鍵完成測量
  • 50mm平方掃描區域,凹凸形狀也能瞬間掃描

  • 體積、表面積、粒徑或個數等,將3D定量化(圖為液相成長下的GaAs晶面 3000x)

  • 機能性薄膜整體形狀的3D量化與形狀量測

  • PCB板大範圍同時高精度/細緻量測表面形狀與結構

內建 292 種分析工具
所有想知道的數據這一台就夠了!

建議的項目

VK-X3000 系列 形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡 產品型錄

VK-X3000 系列 形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡 產品型錄
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