• 矽晶圓背面的「面」粗糙度量測(3000x)

  • 表面粗度/粗糙度量測利器
    VK系列-雷射兼白光干涉顯微鏡

    • 非接觸,以「面」量線/面粗糙度
      不刮傷樣品,克服柔軟/黏性物體量測的問題

    • 最高解析0.01nm,透明/鏡面也OK

    • 內建粗糙度自動分析程式
      內建42種粗糙度參數自動比較分析的AI-analyzer,無經驗也能輕鬆掌握關鍵參數,一鍵自動量測

粗糙度自動分析程式(AI-analyzer)

有時Ra值相同但外觀不同,AI-analyzer能馬上知道哪種粗糙度參數最適合
在初期就決定分析方向,大幅減少後續分析的工時

建議的項目

表面粗糙度評估 超實用建議

表面粗糙度評估 超實用建議
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VK-X3000 系列 形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡 產品型錄

VK-X3000 系列 形狀分析 雷射共軛焦 兼 白光干涉顯微鏡 產品型錄
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