VHX 數位顯微鏡 - 半導體產業利器

    • 最大6000倍率,明/暗視野、DIC、偏光照明等模式
    • 2D/3D 測量、可量化異物及粒度/清潔度分析
    • 多光照模式,低對比或高反射物(錫球)也可清晰觀察,沒有光暈等狀況
  • 全對焦、無光暈的錫球影像,可側面觀察晶片,量測每個錫球高度/寬度,確認晶片是否傾斜或接觸不良

  • 檢測晶圓的邊緣狀態與缺陷,可直接進行2D/3D量測,量化異物或瑕疵

  • 宏觀/微觀的分螢幕顯示功能,可輸入註解並儲存量測結果,方便團隊進行討論

  • 全景深並自動調整焦距,傾斜觀察也非常清楚

建議的項目

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