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    半導體產業必備!

    位移感測 / 測距離技術指南

    完整收錄半導體、IC製程測量Know-How:
    • 我的產品要測量什麼項目?
    • 怎麼測最適合? 有訣竅或注意事項嗎?
    • 符合需求/成本的設備或位移計怎麼選?

KEYENCE線上量測儀器產品

針對目標物的高度、厚度、寬度、尺寸、位移、輪廓等檢測項目,

也須考慮所需精度及使用環境選擇最適合的產品。

為了提供符合不同檢測目的,KEYENCE擁有豐富的產品陣容。

  • 切割片厚度量測

  • 蝕刻後晶圓溝槽深度量測

  • 旋轉塗佈機的高度量測

  • 研磨後的晶圓厚度量測

  • 鋼絲間距量測

  • 定位高精度載物台

  • 溝槽形狀量測

  • 機械手位置量測

建議的項目

雷射位移計案例集 [半導體篇]

雷射位移計案例集 [半導體篇]
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