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    超高精細位移感測器
    LJ-X系列(內建檢測工具)

    從輪廓量測到3D檢查，支援廣泛應用案例
    • 可進行2.5D掃描檢測
    • 量測精度：正負4μm-200μm
    • 高度段差、寬度、位置、輪廓、翹曲、平整度、角度、表面3D掃描

業界最高！3200點資料/輪廓的超高精細量測

  • 傳統量測

    • 粗
    • 偏差、誤差
    • 易受表面狀態的影響

  • LJ-X8000

    • 極細
    • 正確
    • 無論何種表面狀態都可穩定量測

KEYENCE線上量測儀器產品

針對目標物的高度、厚度、寬度、尺寸、位移、輪廓等檢測項目，

也須考慮所需精度及使用環境選擇最適合的產品。

為了提供符合不同檢測目的，KEYENCE擁有豐富的產品陣容。

  • 切割片厚度量測

  • 蝕刻後晶圓溝槽深度量測

  • 旋轉塗佈機的高度量測

  • 研磨後的晶圓厚度量測

  • 鋼絲間距量測

  • 定位高精度載物台

  • 溝槽形狀量測

  • 機械手位置量測

建議的項目

LJ-X8000 系列 超高精細線上輪廓感測器 產品型錄

LJ-X8000 系列 超高精細線上輪廓感測器 產品型錄
  • [檔案類型]PDF:8.16MB

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