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使用超高亮度多色發射器光源,可在整個測量範圍內實現更大的測量範圍和更高的精度。
可使用專用治具及 PC 軟體的光軸校正功能,誰都能輕易且正確進行光軸校正。
光軸一致,因此可進行高精度對夾式厚度量測。感測頭可輕易並列安裝或搭載於機械手臂,安裝空間不受限。
可分離 15 μm 以上透明薄膜、玻璃上鍍膜表面、背面的反射光正確量測。鏡面、粗糙面、陶瓷、接著劑等液體類也能高精度量測。
玻璃厚度量測
橡膠膜片厚度量測
晶圓厚度量測
鋼材厚度量測
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