•  超高速/高精度 三角雷射位移計

    • 精度高達 0.005 μm
    • 最快 392 kHz 超高速取樣 穩定量測
    • 透明/半透明、鏡面、粗糙、精細表面都適用。

針對目標物的振動、速度、加速度、位移、翹曲、段差、高度、厚度、定位，

考慮所需精度、檢測目的及使用環境選擇最適合的量測儀器。

  • 量測圓盤馬達的振動

  • 晶圓的 Z 軸定位

  • 量測段差

  • 量測玻璃板厚度、翹曲度、平整度

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