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薄膜‧晶圓的位移及厚度量測,精度要怎麼提升?

 

技術資料

SI-F80R 系列 光譜干涉晶圓測厚儀 產品型錄

SI-F80R 系列 光譜干涉晶圓測厚儀 產品型錄
  • [檔案類型]PDF:1.43MB
  • [項目類型]產品型錄
  • [語言]繁體中文

KEY Applications & Technologies [HDD] (繁體中文)

KEY Applications & Technologies [HDD] (繁體中文)
  • [檔案類型]PDF:1.31MB
  • [項目類型]技術指南
  • [語言]繁體中文

KEY Applications & Technologies [薄膜/片材] (繁體中文)

KEY Applications & Technologies [薄膜/片材] (繁體中文)
  • [檔案類型]PDF:712KB
  • [項目類型]技術指南
  • [語言]繁體中文

SI-F 系列 微型光譜干涉雷射位移計 產品型錄

SI-F 系列 微型光譜干涉雷射位移計 產品型錄
  • [檔案類型]PDF:2.72MB
  • [項目類型]產品型錄
  • [語言]繁體中文

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