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術語


AC 方式

靜電消除器用於將電壓施加到針形電極的一種方式。
該方式向針形電極施加交流 (AC) 電壓。

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CDM

「帶電器件模型」的縮寫。
在該模型中,器件自身所帶電荷是導致靜電擊穿的原因。

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電暈放電

由於電極周圍的氣體電離,導致針形電極上電場的聚集,從而放電。然而,條件不足以引起完全的靜電擊穿或電弧放電。

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庫侖力

當帶電物體接近另一帶電物體時,它們相互吸引或排斥。該力由物體的極性與帶電量、物體之間的距離決定。帶電粒子之間的這種電作用力稱為「庫侖力」。

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蠕緩放電

沿著絕緣表面執行放電的現象。
發生這種情況是由於局部放電,如帶電物體靠近接地的導體時產生放電。

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DC 方式

靜電消除器用於將電壓施加到針形電極的一種方式。
該方式向針形電極施加或正或負的直流 (DC) 電壓。

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靜電感應

帶電物體靠近導體時,將極性相反的電荷吸引至靠近帶電物體一側的現象。

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靜電擊穿

由靜電放電引起的電子零件擊穿與故障。

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EOS

EOS 即電超載 (Electrical Overstress),是指能引起損壞,導致系統或元件故障的異常電壓峰值。此事件的持續時間通常從數微秒到數秒之間(短脈衝長度為數毫微秒)。

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EPA

「防靜電保護區」的縮寫。
EPA 是供靜電敏感裝置使用的區域。所有 EPA 都必須加以識別,並由 ESD 控制措施充分保護,以達到容許的水平。
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ESD

「靜電放電」的縮寫。
指由於直接接觸或電場的原因,靜電電荷在靜電電位不同的物體之間轉移的過程。

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ESDS

「靜電放電敏感裝置」的縮寫。
即存在靜電擊穿可能性的裝置。

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HBM

「人體模型」的縮寫。
帶靜電的人體接觸電子零件(如積體電路)將放電並引起靜電擊穿的模型。

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高頻波 AC 方式

靜電消除器使用的一種電壓施加方式。
將高頻率、數千伏的交流 (AC) 電壓施加到針形電極。

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I.C.C.

「離子電流控制」的縮寫。
集成到靜電消除器的一種功能,可以感測產生離子的數量。此功能還可感測帶電物體的極性與強度。透過感測這些變數,靜電消除器就可以自動調整離子平衡,以最佳的方式為帶電物體提供離子。
這是 KEYENCE 獨創的控制系統。

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IEC

「國際電氣技術委員會」的縮寫,電氣與電子領域的國際標準化機構。

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MM

「機器模型」的縮寫。
帶靜電的裝置接觸電子零件(如積體電路)將放電並引起靜電擊穿的模型。

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脈衝 AC 方式

靜電消除器用於將電壓施加到針形電極的一種方式。
該方式將正負電壓交替施加到一個針形電極。
在脈衝 DC 方式中,放射正離子或負離子的針形電極是預先確定的。而在脈衝 AC 方式中,每個電極都交替產生正離子和負離子。

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脈衝 DC 方式

靜電消除器用於將電壓施加到針形電極的一種方式。
此方式包含一對針形電極,分別接受正 DC 電壓和負 DC 電壓。然後,這些正電極或負電極分別產生相應的正離子或負離子。

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SEMI

「國際半導體裝置與材料協會」的縮寫,是國際半導體裝置與材料製造商協會。
其宗旨是統一半導體行業(生產如半導體、FPD 以及太陽能發電機)的國際行業標準。
由 SEMI 設定的標準稱為 SEMI 標準。

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靜電

物體上存在不平衡電荷,並且其量通常足以產生火花的電現象。這種電荷通常由兩種電荷之間的接觸或摩擦產生。

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靜電感光痕跡

靜電的電荷遍佈物體(如薄膜)表面。
儘管肉眼不可見,但可透過噴帶電的兩色顯影劑呈現出來。

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