光譜干涉反射法
SI 系列

SI 系列

量測翹曲時利用強制執行光譜干涉法的測量儀器,來進行三點檢測。每個點的量測值接著會傳送到控制器,再加以計算後傳回量值。

產品特點

  • 1 nm 解析度的超高精度
  • 不受環境溫度的影響
SI-F 系列

SI-F 系列